연결된 검증 바카라 및 엔지니어링 교수판

나노 기술 및 자료 Micromachine Engineering Laboratory
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Abe Takashi
Abe Takashi
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특수 검증 바카라, 세라믹 및 Crystal Microparts 생산 기술

키워드기계적, 화학적 내구성, 힘든 검증 바카라 장치, 거친 전극, 마이크로 나노 템플릿

검증 바카라 목표, 개요, 예상 효과

우리는 티타늄 합금, 탄탈, 니오 비움 및 몰리브덴과 같은 응용 분야뿐만 아니라 유리 및 세라믹과 같은 재료뿐만 아니라 미세 가축 장비 및 센서 및 장치에 대한 검증 바카라를 수행하고 있습니다
MEMS 기술은 주로 실리콘 검증 바카라와 장치로 구성되지만 기계적 및 화학적 내구성 측면에서 실리콘으로 처리 할 수없는 많은 특별한 응용 프로그램이 있습니다 예로는 갑작스런 압력 변화를 일으킬 수있는 압력 검증 바카라와 반복적으로 사용되는 마이크로-나노 템플릿이 포함됩니다
이 실험실은 특수 검증 바카라의 고속 가공을 허용하는 열적으로 보조 된 반응성 이온 에칭 방법을 고안하여, 위에서 언급 한 특수 검증 바카라의 고속 처리를 수행 할 수있게 해주었다 이 기술은 부품을 비교적 저렴하고 널리 사용되는 병렬 플레이트 반응성 이온 에칭 장치에 부착하여 성능을 향상시킬 수 있습니다

아래는 예상 시장의 예입니다
・ 충격 방지 압력 및 힘 검증 바카라 (진공, 고압의 경우)
・ 충격 저항 스위치 (기계적, 전기 저항성)
・ 마이크로 ・ 나노 템플릿
・ 부식성 미세 전극
∎ 밸브, 펌프 (부식성, 충격 저항성)
・ 다양한 크리스탈 검증 바카라, 트랜스 듀서

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그림 1 특수 검증 바카라 센서/장치 생산 장비
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그림 2 다양한 재료의 마이크로 처리 예

관련 지적 재산
기사 등

플라즈마 에칭 장치 (일본 특허 출원 2014-180272, 특허 평가)
SYamada, Y Minami, M Sohgawa 및 T Abe, 과학 도구 검토, 86, 045001, 2015 (편집자 선택으로 선정 됨)

항소 지점

마케팅은 미래에 여전히 새로운 분야입니다 가공, 장비 및 사용 기술이 마침내 형성되기 시작했습니다 사용 된 아이디어와 기술에 따라 큰 개발이 예상됩니다

검증 바카라할 사이트 (산업, 지방 정부 등)

우리는 새로운 분야 개발을 목표로하는 검증 바카라 또는 계획 검증 바카라를 고려한 회사 나 학생들의 교육 및 검증 바카라에 순전히 협력하고자하는 회사 및 지방 정부와 협력 할 수 있다면 기뻐할 것입니다

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