나노 기술 및 재료 MEMS 기술을 사용하여 다양한 센서에 적용될 수있는 미세 구조 (마이크로 캔틸레버)를 제조합니다. 미세 칸 티 레버는 고정 된 끝을 가지며, 힘의 적용 또는 재료의 축적으로 인해 편향이 발생합니다. 이 편향 변화는 스트레인 게이지 저항 변화와 압력 전기 효과에 의해 전기적으로 감지됩니다. 크기는 약 0.1mm ~ 1mm 일 수 있습니다. 이러한 유형의 구조는 일반적으로 기판을 관통하여 제조되지만 표면 (표면 마이크로 머시 싱) 만 처리하여 제조 공정을보다 쉽고 비용이 많이 드는 것입니다. 또한 표면을 절연하고 기능적 재료를 추가하며 수지로 구조를 밀봉하는 데 사용될 수있어 다양한 응용 분야에 적합합니다. 적용의 예로서, 우리는 수지로 밀봉 된 미세 캔틸레버를 사용하여 미세 파질 센서 칩 (별도 페이지 참조)과 미세 칸 티 레터 상단의 세포막과 유사한 인공 지질 막 (리포좀)을 고정시키는 바이오 센서 칩에 대한 해외 바카라 사이트를 수행하고 있습니다. 현미경을 사용하는 일반적인 단백질 검출 방법과 달리,이 바이오 센서는 형광 표지 또는 광학 시스템이 필요하지 않으므로 단순화되고 작고 비용 효율적입니다. 크기, 모양, 숫자 및 배열과 같은 미세 캔틸레버의 설계는 응용 프로그램에 따라 다양한 설계에 적응할 수 있습니다. 제조는 실험실 장비를 통해 수행 될 수 있으므로 해외 바카라 사이트 및 개발은 저렴한 비용으로 수행 될 수 있습니다. ● 키워드 ● MEMS, 표면 마이크로 머시 싱, 미세 캔틸러리, 촉각 센서, 바이오 센서 T. Taniguchi, M. Sohgawa, M. Noda et al. : Biotechnol. Bioeng., Vol. 117, No. 8, pp. 2469-2478 (2020). M. Sohgawa, D. Hirashima, H. Noma et al. : 센서 및 액추에이터 A, Vol. 186, pp. 32-37 (2012). Takahashi, Samukawa 등 : 전기 엔지니어 해외 바카라 사이트소, E, Vol. 139, No. 11, pp. 375-380 (2019) *문의를 보려면 해외 바카라 사이트 Social Collaboration Promotion Organization One-Stop Coun 필드. 4-3http : //mems.eng.niigata-u.ac.jp/associate 교수, 자연 과학 Masayuci Masayuki 관련 지적 재산 논문 그림 1 미세 칸 타일 자의 전자 현미경 사진의 예 : 단백질 검출 (산업, 현지 정부)에 대한 해외 바카라 사이트에 대한 예상되는 효과적인 호소 점). Microcantilever 구조 ~ 촉각 센서 및 단백질 바이오 센서 ~