제조 기술과 관련된 지적 재산 논문 등. 5-6 그림 1 : 교란 제거 기능이있는 반도체 레이저 간섭계 그림 2 : 표면 형상 측정 결과 : 광학 간섭계는 일반적으로 미묘한 서브 미크론 순서의 초 예전 측정에 사용됩니다. 그러나 상업용 간섭계는 매우 비쌉니다. 또한 기계적 진동과 같은 외부 교란에 취약하므로 광학 진동 분리 테이블과 조용한 측정 환경이 필요합니다. 제조 현장에 쉽게 도입 할 수 없습니다. 이 문제를 해결하기 위해, 우리 실험실은 반도체 레이저를 광원으로 사용하여 극도로 저렴한 "활동적인"간섭계를 연구하고 개발하고 있습니다. 활성은 기계적 진동의 영향을 제거하고 실시간 측정을 가능하게하는 함수를 의미합니다. 반도체 레이저는 CD 플레이어와 같은 주변의 홈 어플라이언스의 광원으로 사용되며 저렴한 가격으로 제공됩니다. 구동 전류를 사용하여 방출 된 빛의 파장을 제어함으로써 다양한 활성화가 달성 될 수있다. 그림 1은 교란 제거 기능을 갖는 반도체 레이저 간섭계의 구조의 예를 보여주고, 그림 2는 측정의 예를 보여줍니다. 그림 2 (a)는 비활성 유형을 보여주고 그림 2 (b)는 활성 유형 관측 신호를 보여줍니다.이 신호는 활성 유형으로 볼 수 있으며 활성 유형 신호가 제 시간에 어떻게 안정적인지를 보여줍니다. 그림 2 (c)는 활성으로 측정 된 자기 디스크의 표면 모양을 보여줍니다. 첫 번째 및 두 번째 세션 (10 분 후)에 대해 거의 동일한주기 구조가 관찰되었습니다. 둘의 차이는 표준 편차에서 4.2Nm입니다. 과거에는 간섭계 측정이 불가능한 환경에서도 정확한 측정을 수행 할 수 있습니다. 표면 모양 외에도 작은 진동과 작은 변위를 측정 할 수도 있습니다. ● 키워드 ● 반도체 레이저 간섭계, 접촉, 피드백, 교란 제거, 표면 모양 사사키 오사무, 타카 마 사사, "간섭계의 피드백 제어를 사용한 강력한 감지 기술", Journal of Precision Engineering vol. 69, No. 10, 1379-1382 (2003). *문의 사항은 Niigata University Social Collaboration Promotion Organization One-Stop Coun http://optlab.eng.niigata-u.ac.jp/professor suzuki takamasa, 자연 과학 Takamasa 목적, 개요 및 예상되는 효율성 호소 포인트 진동 및 소음 및 소음에서 초외에서 비접촉식 형태 측정에 대한 연구에 대한 연구에 대한 예상되는 효과적인 호소 점 (산업, 지방 정부 등). ~