마이크로 아이스 제트 생산 장비 사양, 간단한 테스트 사양

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미세한 외국 물질은 청소를 통해 제거 할 수 있습니다 평평한 외국 물질을 제거 할 수 있습니다

비디오


청소의 예

청소할 영역

Micro-ICE Jet에 의해 청소할 영역

청소 방법 비교

  • 특히 고르지 않은 표면을 청소하는 데 미세한 청소에 우수합니다
  • 드라이 아이스 폭파 청소 대신 사용할 수 있습니다
  • CO2가 사용되지 않으므로 환경 영향이 줄어 듭니다
Micro Ice Jet CO2 Jet 2- 유체 노즐 드라이 아이스 폭발
입자 재료 SuperCooled 액 적 및 냉동 입자
(액체/소프트)
CO2 냉동 입자
(고정)
wed
(액체)
드라이 아이스 펠렛
(고체)
입자 속도 400 ~ 450m/sec 300 ~ 400m/sec 50 ~ 100m/sec 약 200m/sec
입자 크기 D32 = 10μm 5 ~ 50μm 10 ~ 20μm 300μm ~ (스프레이시)
미세 청소 ×
고르지 않은 표면 제거 × × ×
Blasting Power ×
달리기 비용 × ×
환경 부담 × ×
기본 응용 프로그램 대상 ・ 웨이퍼의 실리콘 잔류 물
・ 웨이퍼의 폴리머 제거
・ bg, 세련된 청소
・ 라미네이트 기판에 대한 절단 버
・ 웨이퍼 청소 ・ 웨이퍼 청소
・ 청소 LCD 패널
・ 페인트 필링
・ 슬러지 등 제거

원칙

마이크로 아이스 제트의 원리

압축 공기는 목구멍의 소리 속도에 도달하여 팽창시 초음속 속도로 가속 될 때 절연하고 확장하여 온도가 떨어집니다
공급 된 물방울은 1입니다 가속 2 냉각 된 2 작은 얼음 입자 및 과냉각 액 적과 함께 초음속 속도로 뿌립니다

마이크로 아이스 제트의 원리는 미세한 얼음 입자를 생성하고 초음속 속도로 스프레이

마이크로 아이스 제트의 특징

  • 공기와 물만 사용하여 미세한 얼음 입자를 확립합니다 (얼음 제조업체 또는 질소 가스가 필요하지 않음)
  • 안정적인 얼음 입자 크기 및 얼음 막힘 없음
  • 표면을 손상시키지 않고 외국 물질 만 제거

마이크로 아이스 제트의 특징, 경계층을 뚫어 외국 물질을 제거

얼음 상태 및 청소 대상

하드 아이스 소프트 아이스
청소 원리 하드 아이스의 충돌로 인해
청소할 물체를 뚫고 제거합니다
Sherbet와 같은 얼음 블록이 표면에 형성됩니다
섭취 및 외국 대상을 날려 버립니다
급수 ml/min 수 (덜) 수십 개의 ml/min (종종)
청소 대상의 예 ・ 매직 잉크 필링
・ 일부 저항의 스트리핑
・ 버를 제거하는 등
・ 약한 힘에 의해 준수되는 오염
청소 사진

매직 코트 제거

매직 코트 제거
(× 200x Micrograph)

웨이퍼 청소

웨이퍼 청소

경계층보다 작은 이물질을 제거 할 수 있습니다

마이크로 아이스 제트기는 경계층보다 작은 이물질을 제거 할 수 있습니다

주입 장치

주입 제어 장치 (생산 장비 사양)

사양 요약


◆ 제트 노즐

외부 치수 φ26+□ 40
길이 250mm
웨이트 1kg

*스팟 직경 : 약 3mm


◆ 컨트롤 박스 (생산 장비 사양)

외부 치수 280W × 420D × 460H
관리
(알람 포함)
공기 온도/공기 압력
수온, 수 유량, 수압
전원 소스 AC100V 차단기 용량 2A
웨이트 22kg
외부와의 I/O 원격 작업 가능
알람 출력을 사용할 수 있습니다

*임대료도 제공됩니다

주입 제어 장치 (간단한 테스트 사양)

마이크로 아이스 제트 주입 제어 장치 (간단한 테스트 사양)

사양 요약

장치 측면에는 경보, 펌프 또는 I/O가 없으므로 생산 장비에는 사용할 수 없지만 테스트 목적으로 사용할 수 있습니다 펌프가 없으므로 물 공급 라인이 필요합니다 노즐 부분은 동일합니다


◆ 제트 노즐

외부 치수 φ26+□ 40
길이 250mm
웨이트 1kg

*스팟 직경 : 약 3mm


◆ 컨트롤 박스 (간단한 테스트 사양)

외부 치수 222W × 230D × 228H
관리
(알람 없음)
공기 온도/공기 압력
수온/물 흐름
전원 전원 없음
weight 5kg
외부와의 I/O 아니오 I/O

*임대료도 제공됩니다

미세한 순서로 미세한 외국 물질 제거

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