[반도체 산업의 경우] 순수한 물, 화학 물질 및 슬러리를위한 단일 포트 로타리 조인트
![[반도체 산업의 경우] 순수한 물, 화학 물질 및 슬러리를위한 단일 포트 로타리 조인트](/products_services/rotary-joints-semiconductor-l40.jpg?rixcdn=1727439)
로타리 조인트 (로타리 조인트)
용도
- 웨이퍼 압력을위한 공기 공급
- Wafer Vacuum Chuck (저자)
- 진공 파괴를위한 공기 공급
- 회전 테이블에 냉각수 공급
- 순수한 물, 화학 용액, 슬러리 공급
* 사양에 따라 물 충진이 필요할 수 있습니다
기능
- 통과 유체로 금속 이온의 용리를 고려하여, 비금속 물질은 내부 습식 부품에 사용됩니다
- 내부 습식 부분은 우수한 화학 저항이있는 재료로 만들어졌습니다
- 탁월한 내마모성이있는 기계식 씰을 사용하여 공기, 진공, 순수한 물 및 슬러리에 적합합니다
사양
| 최대 회전 속도 | 600min-1 |
| 압력 | -01mpa to 1mpa |
| 유체 | 공기, 진공, 순수한 물, 화학 액체, 슬러리 등 |
| 재료 |
바디 : PTFE ・ SUS SEAL : SIC 습식 부분 : PTFE 및 기타 |
위 사양은 예제입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
로타리 조인트 (로타리 피팅)
