[반도체 산업의 경우] 웨이퍼 진공 척을위한 로타리 조인트
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로타리 조인트 (로타리 피팅)
단일 포트 MFC1P 시리즈
용도
- 웨이퍼 압력을위한 공기 공급
- Wafer Vacuum Chuck (adsorption)
기능
- 통관 씰을 채택하여 열 및 먼지 생성
사양
| 최대 회전 속도 | 6000min-1 |
| 압력 | -01MPA ~ 05MPA (※ 1) |
| 유체 | 진공/공기 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
(※ 1) 클리어런스 씰이므로 압력을 유지할 수 없습니다
또한, 진공에 도달하는 압력은 진공 펌프의 성능에 따라 다릅니다
위 사양은 예일뿐입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
멀티 포트 MFC 시리즈
용도
- 웨이퍼 압력을위한 공기 공급
- Wafer Vacuum Chuck (adsorption)
기능
- 클리어런스 씰을 채택하여 열 및 먼지 생성
사양
| 최대 회전 속도 | 3000min-1 |
| 압력 | -01MPA ~ 05MPA (※ 1) |
| 유체 | 진공 공기 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
(※ 1) 클리어런스 씰이므로 압력을 유지할 수 없습니다
또한, 진공에 도달하는 압력은 진공 펌프의 성능에 따라 다릅니다
위 사양은 예제입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
로타리 조인트 (로타리 피팅)
