[반도체 산업의 경우] CMP 장비에 대한 로타리 조인트
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로타리 조인트 (로타리 피팅)
3 포트 EMF 시리즈
use
- 에어백 내부 압력을위한 공기 공급
- 에어백 내부의 압력 제거를위한 진공 공급
- 주로 CMP 장치 용
기능
- 여러 유체가 동시에 흐르도록하는 멀티 포트 유형 (3 포트)
- 윤활 슬라이딩 드라이 작동
- 기계식 씰 구조
사양
| 최대 회전 속도 | 150min-1 |
| 압력 | -01MPA ~ 01MPA |
| 유체 | 진공 공기 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
위 사양은 예제입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
3- 포트 MF 시리즈
use
- 에어백 내부 압력을위한 공기 공급
- 에어백 내부의 압력 제거를위한 진공 공급
- 주로 CMP 장치 용
기능
- 여러 유체가 동시에 흐르도록하는 멀티 포트 유형 (3 포트)
- 윤활제 슬라이딩 드라이 작동 가능
- 포장 씰 구조
사양
| 최대 회전 속도 | 50min-1 |
| 압력 | -01mpa ~ 03mpa |
| 유체 | 진공 공기 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
위 사양은 예입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
멀티 포트 MFES 시리즈
use
- 웨이퍼 압력을위한 공기 공급
- 웨이퍼 진공 척 (빨기)
- 진공 파괴를위한 공기 공급
- 회전 테이블에 냉각수 공급
- 순수한 물, 화학 용액, 슬러리 공급
기능
- 여러 유체가 동시에 흐를 수있는 멀티 포트 유형
- 비금속 재료는 내부 습식 부품에 사용됩니다
- 내부 습식 부분은 우수한 화학 저항이있는 재료로 만들어졌습니다
- 내마모성이 우수한 기계식 씰 사용
- 최대 8 포트의 입증
사양
| 최대 회전 속도 | 300min-1 |
| 압력 | -01mpa to 1mpa |
| 유체 | 공기, 진공, 순수한 물, 화학 액체, 슬러리 등 |
| 재료 |
ptfe, sus 등 |
위 사양은 예입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
로타리 조인트 (로타리 피팅)
