[반도체 산업의 경우] 테이블 냉각을위한 로터리 조인트
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로타리 조인트 (로타리 피팅)
2 포트 MS 시리즈
use
- 회전 테이블에 냉각수 공급
기능
- 또한 회전식 조인트 축의 중앙에서 중공 구멍을 뚫을 수 있습니다
사양
| 최대 회전 속도 | 200min-1 |
| 압력 | 05MPA |
| 유체 | 순수한 물 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
위 사양은 예제입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
3- 포트 MS 시리즈
용도
- 웨이퍼 압력을위한 공기 공급
- Wafer Vacuum Chuck (adsorption)
- 진공 파괴를위한 공기 공급
- 회전 테이블에 냉각수 공급
- 순수한 물 공급
기능
- 순수한 물, 진공 및 공기와 같은 여러 유체를 동시에 로터에 공급할 수 있습니다
- 최대 5 포트 사용 가능
사양
| 최대 회전 속도 | 850min-1 |
| 압력 | -01MPA ~ 06MPA |
| 유체 | 진공, 공기, 순수한 물 |
| 재료 |
SUS 및 기타 |
위 사양은 예제입니다 사양은 모델에 따라 변경 될 수 있습니다
로타리 조인트 (로타리 조인트)
