RPS (원격 플라즈마 소스) 수리
반도체 제조 장비 부품 수리/재생
미국과 RPS (원격 플라즈마 소스) 수리의 이점
01 1 주일 이내의 배달 시간
우리는 귀하로부터 제품을 받은 후 빠르면 일주일 이내에 수리를 완료하고 제품을 반환할 수 있습니다 *보통 배송 기간은 2~3주 정도입니다
02안정적인 국내 지원
수리는 MIE 현 요카 이치에있는 수리점에서 처리됩니다 공장에서 직접 수리 세부 정보를 볼 수 있으므로 안심할 수 있습니다
036 개월 수리 후 보증
수리 후에도 신뢰할 수 있습니다! 보증 기간은 일반적으로 2-3 개월이지만 6 개월 보증을 제공합니다*첫 결함 수리
RPS 란 무엇입니까 (원격 플라즈마 소스)?
반도체 제조 공정에서 "RPS (원격 플라즈마 소스)"는 처리 장치 (챔버) 외부에서 플라즈마를 생성하고 혈장을 사용하여 챔버 내부를 청소하거나 박막을 형성하는 장치입니다
RPS(원격 플라즈마 소스) 복구 프로세스
RP (원격 플라즈마 소스) 수리는 위의 프로세스에서 수행됩니다 수리는 MIE 현 요 카이치 공장에서 이루어 지므로 짧은 시간 안에 제품을 반환 할 수 있습니다
수리 가능한 모델
| 용량 | 유형 표현식 | ||
| 국내 수리 가능 | RPS 2L | FI20620 | ax7657 |
| RPS 3L | ax7670 | ax7671 | |
| RPS 6L | FI80131 | ax7685 | |
| RPS 22L | AX7635 | ||
|
해외 수리 (한국) |
RPS 15LRH | AX764RH | |
| RPS 15LPS | ax7645ps | ||
| Paragon | AX7700 | ||
| 혁명 | ax7695 | ||
위 외에도 수리 할 수있는 모델도 있습니다 저희에게 연락하십시오
매칭박스도 수리 가능
일치하는 상자를 수리 할 수 있습니다 우리는 부품을 교체 할뿐만 아니라 조정 및 테스트도 교체합니다 저희에게 연락하십시오
또한 진공 펌프, 터보 분자 펌프, 드라이 펌프 등의 수리 및 재생도 가능합니다 문의 할 때 실제 사진, 제조업체 이름, 모델 및 고장 상태를 포함 시키면 부드러운 가이드를 제공합니다
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