웨이퍼 플럭스 청소 장비 JS 시리즈
청소/건조 장치
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단일 공급 웨이퍼 전송 시스템이 장착 된이 장치는 범프 웨이퍼에서 플럭스를 청소하는 장치입니다"Spin-Jet"은 웨이퍼 표면에서 플럭스 및 이물 대상이 제거되도록합니다
spinjet 소개
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"스핀 제트"는 세정 용액 및 린스 액체가 외부 주변에만 유지되는 웨이퍼의 범프 표면 (및 후면 표면)을 향해 제트 상태에 닿는 청소 방법이며, 이는 웨이퍼, 마이크로 솔더 볼 및 두꺼진 활성 에이전트의 플럭스와 같은 첨가제를 제거합니다
스핀 제트가 필요한 이유는 무엇입니까?
액체 제트기
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액체 제트의 경우, 경계층은 필연적으로 웨이퍼에 형성되며 약 φ012mm의 볼과 마이크로 솔더 볼은 액체 정체에 들어갑니다 이 경우, 제트 압력이 증가하더라도 물리적 힘은 웨이퍼 표면에 쉽게 적용되지 않으며, 플럭스의 불용성 문제와 마이크로 싱글 볼은 제거되지 않습니다 또한, 웨이퍼를 액체에서 빼낼 때, 외래 물질이 재건 될 위험이 있습니다
스핀 제트기 (RIX)
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회전 웨이퍼 표면에 직각으로 제트기를 때리면 제트의 물리적 힘은 불용성 재료에 직접 적용되고 마이크로 솔더 볼은 껍질을 벗기는 힘으로 적용됩니다 제트기는 경계층을 파괴하면서 흔들려 볼 주위에 힘이 가해지고 청소는 남아 있지 않습니다 또한, 액체는 항상 여과에 의해 재활용되기 때문에, 외래 물질 재 부착의 위험은 없다
JS 시리즈 변형
| 모델 | 프로세스 |
| JS-3010M | 1 탱크에서 1 탱크 유형 핸드 운송/청소/건조 작은 샘플 제품을 청소하고 재 작업하기에 적합합니다 |
| JS-3030LHA | 3 탱크 자동 운송/3 탱크 유형 : 청소 탱크, 사전 린스 탱크 및 린스 건조 탱크 낮은 생산에 적합합니다 |
| JS-3040LHA | 4 탱크 자동 운송/4- 탱크 유형 : 청소 탱크, 사전 린스 탱크, 마무리 린스 탱크 및 건조 탱크 높은 생산에 적합합니다 |
청소 장치/건조 장치/노즐
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